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            資料詳情 TECHNICAL

            離子泵的結構和原理圖

             發表時間:2023-03-10

             

                離子泵由強磁鐵、蜂窩狀陽極、鈦(Ti)陰極構成(圖1)。離子泵的基本原理是利用陰極放電產生氣體分子的離子,離子撞擊陰極而被陰極捕捉,同時也產生濺射效果。陰極材料用金屬Ti制作,金屬Ti被濺射后,在腔體的內壁連續形成活性膜,繼續和氣體分子反應,從而不斷進行排氣。由于磁場的存在,陰極放電可維持在極低的壓強下。

             

              離子泵的排氣量和放電電流成正比,放電電流I和排氣速度S與壓強p之積成正比

            離子泵的結構和原理圖

              因此,如果排氣速度保持一定,則放電電流和壓強成正比,也就是說測量放電電流就可知真空度。離子泵的主要優點如下:

              (1)完全無油。停電時也不用關閉閥門。

              (2)工作壓強范圍廣,適合極高真空的獲得。

              (3)無人運轉。只需提供電力即可工作,適合夜間無人操作和遠距離操作。擁有自我保護功能,當發生真空惡化并超過一定值后能自動關閉電源。

              (4)工作安靜,完全無振動、無噪音。

              (5)節能。所需電力和壓強成正比,剛啟動時需要一定的電力,隨著真空度的提高則消耗電力降低。

              (6)不需要真空計。由于壓強和放電電流成正比,知道放電電流則知道大致的真空度。

              (7)可對惰性氣體排氣。

              (8)安裝方向自由。

              但是,離子泵需要和其他初級排氣泵組合使用;同鈦升華泵一樣,離子泵利用化學方法排氣,其使用壽命有限。作為吸附泵的一種,離子泵也需要烘烤,以放出吸附的氣體。如果真空腔體放出的氣體很少,烘烤中也可保持離子泵處于工作狀態。如果烘烤中真空腔內的真空度處于10-3 Pa或更差,則應該關閉離子泵。烘烤接近結束,真空度達到10-4 Pa時,再啟動離子泵。

             

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