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            資料詳情 TECHNICAL

            分子泵故障處理

             發表時間:2021-09-16

                     分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表面或泵體內表面上,因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞,提高泵的抽氣效果。

             
                   由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結構的聯接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變,使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序,致使返流增加,抽氣能力下降。
             

             
            分子泵故障處理
             
            1、分子泵為何會發生半邊熱,半邊冷的現象?
             
            原因:附近有光照或其他熱源
             
            解決方法:避免光照或熱源
             
            2、分子泵使用中發現油發黑,請問油為什么發黑?或者多長時間油才會變黑?
             
            原因:冷卻不良,負載太大
             
            解決方法:檢查冷卻系統,檢查真空系統
             
            3、分子泵在運轉過程中,出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復到正常,反反復復,更換電源后現象仍如此,請問該現象如何解釋?
             
            原因:負載太大,系統真空度不夠
             
            解決方法:檢查系統
             
            4、分子泵軸承為什么會燒毀
             
            原因:缺乏定期維護冷卻不良導致過熱沒有及時換油抽除的氣體中含有大量粉塵
             
            解決方法:及時維護檢查冷卻系及時換油隔離粉塵
             
            5、有防護網保護,為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內?
             
            原因:防護網破裂,前級管道破裂
             
            解決方法:優化系統設計
             
            6、真空度很好的情況下,分子泵油為何會返到前級管道?
             
            原因:油池破裂或密封不良
             
            解決方法:檢查油池
             
            7、正常使用下,為什么分子泵油池會出現裂紋或者變形
             
            原因:過熱,負載大
             
            解決措施:檢查冷卻系,檢查系統
             
            8、分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體,如M5的頂絲等,請問是否對分子泵的使用有影響?應如何解決?
             
            原因:應是偶爾發生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。
             
            解決方式:應是偶爾發生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。
             
            9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗,使用才安全?
             
            答:不作特殊限定,至少3個,按照法蘭大小可選3、6、12、24等
             
            10、變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂?
             
            答:電壓不穩強干擾高壓打火人為解密
             
            11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格標準,是多少?
             
            答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要專用儀器和特定的測試環境
             
            12、分子泵是否對冷卻有明確要求?如風冷需要外界溫度是多少?如水冷則對水有何具體要求?如未達到要求會出現何后果?
             
            答:注意水溫和水流量,冷卻不良會導致無故停機、碎泵、油變黑等。
             
            13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題,應如何做才是最佳方式?
             
            答:電源本身有接地線,只需要保證市網有良好接地就可以了;屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。
             
            14、變頻器電源,轉速上升過程中就自動關機,即顯示“Poff”。
             
            答:原因:電壓低
             
            15、分子泵葉片破碎的原因:
             
            答:造成分子泵轉子、靜子打碎的原因比較多,歸納起來主要是以下幾點:
             
            *誤操作;比如突然的破真空,因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小,如果葉片的材質比較薄或者比較軟,突然的空氣阻力會造成葉片變形,這樣可能會造成轉子靜子之間的摩擦,導致打碎。
             
            *是異物掉入;沒有安裝過濾網肯定不行的,另外掉進去的東西不一定要多大,但如果硬度夠了一樣會造成傷害,輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀,重則打碎葉片。所以現在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側面90度或倒立安裝,避免異物掉入。
             
            *電壓的不穩定,特別對磁浮類的分子泵損傷較大。
             
            *前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。
             
            *分子泵保養時的動平衡沒有做好,這是技術的關鍵,動平衡差,振動就大,抽氣效率就差,也容易造成軸承部分的過度磨損。
             
            *軸承部分沒有使用原廠的標準軸承,效果和尺寸不標準等。

             

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